동아사이언스

PARTⅠ 개념과 실체 미래 첨단산업의 기초

과학동아 1989년 01호

말하며, 고진공을 이용한 균일피막처리, 과장적 실험 등에 응용되고 있다.초청정기술은 휠터류를 사용하여 공간내의 미립자 및 불순물을 제거한 초청정 상태를 유지하여 1f${t}^{3}$당 0.5μ 입자가 1백개 이하로 된 Class 100 수준이상의 공간을 창출, 이용하는 기술을 말한다. 청정실(Clean Room)은 크게 ...