만드는 주요 도구 중 하나는 빛이다. 반도체 기판(웨이퍼) 위에 빛에 반응하는 감광제(포토레지스트)를 덮은 뒤 빛을 쪼이면, 빛에 닿은 부분만 깎거나 반대로 그 부분만 남길 수 있다. 이 방식으로 회로의 밑그림을 그린다.이때 이용하는 빛의 파장이 짧을수록 더 가는 회로를 만들 수 있다. 198 ...
반도체 업계는 사활을 걸었다. 먼 미래를 바라볼 새도 없다. 지금 당장 한 발이라도 나아가지 않으면 경쟁자에 잡힐 거란 생각뿐이다. 그 덕에 반도체 기술은 쉴 틈 없이 발전하고 있다. 5월에는 2주 간격으로 IBM의 2nm급, TSMC의 1nm급 초고집적 반도체 개발 소식이 연달아 들려왔다. 한편에선 인공지능 ...
이어지는 기사를 보려면?Intro. 반도체가 촉발한 한일 총성 없는 경제전쟁Part1. 일본은 왜 포토레지스트와 플루오린화수소를 지목했나Part2. 한국은 왜 반도체 강국이라면서 소재산업은 ...
포토레지스트는 현재 일본이 전량 생산하고 있다. EUV용 포토레지스트 개발은 기존의 포토레지스트 개발과는 기술 수준이 다르다. 빛의 파장이 248nm에서 193nm로 짧아질 때는 포토레지스트를 개량하는 수준에서 가능했지만, 13.5nm로 대폭 줄어들면 포토레지스트뿐만 아니라 노광 공정에 들어가는 ...
비트)의 대용량 메모리 반도체를 제작할 수 있는 포토레지스트를 개발하기도 했다. 현재 포토레지스트의 수입대체 효과는 연간 2000억원에 이른다.또 디스플레이에 쓰이는 포토레지스트, 식각재료, 컬러안료 등을 국산화했고 휴대전화 카메라에 쓰이는 이미지센서(CMOS)용 컬러레지스트를 개발하는데 ...
정밀 요업재료를 설계하는 기술이 실용화된다(2005).6. 서브미크론의 해상도를 가지는 포토레지스트용 고분자재료가 실용화된다(2004).7. 연속 사용 온도 4백50℃의 내열 엔지니어링 플라스틱이 개발된다(2005).8. 센서와 액츄에이터가 하나의 칩으로 소형 로봇에 이용된다(2005).9. 액정 고분자가 기억·기록 ...
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