있다”고 말했다. 스위스 마이크로및나노기술연구소는 BEUV가 6nm대 파장의 빛으로 EUV보다 더 미세한 회로를 만들 수 있다고 2015년 국제학술지 ‘네이처’에 발표했다. doi: 10.1038/srep09235 서로 다른 반도체 겹겹이 쌓는 3D 적층 패키징크기가 한정된 기계 장치에 더 많은 반도체를 넣는 데 반도체 ...
반도체 업계는 사활을 걸었다. 먼 미래를 바라볼 새도 없다. 지금 당장 한 발이라도 나아가지 않으면 경쟁자에 잡힐 거란 생각뿐이다. 그 덕에 반도체 기술은 쉴 틈 없이 발전하고 있다. 5월에는 2주 간격으로 IBM의 2nm급, TSMC의 1nm급 초고집적 반도체 개발 소식이 연달아 들려왔다. 한편에선 인공지능 ...
밝혔다. 한편 8월 8일 일본 정부는 수출규제 이후 처음으로 삼성전자가 신청한 EUV용 포토레지스트 수출 신청을 허가했다. Q 플루오린화수소의 순도가 중요한가?A 순도보다 원하는 품질 구현이 관건 플루오린화수소는 플루오린화칼슘(CaF2)으로 이뤄진 광물인 형석을 고온의 황산과 반응시켜 ...