11월 12일 대전 유성구 한국기계연구원(KIMM) 대기압플라스마연구실. 연구실에 들어서자 반도체 생산설비 규모에 입이 벌어졌다. 약 66m2에 이르는 연구실의 3분의 2를 반도체 생산설비가 차지하고 있었다. 이대훈 UST-한국기계연구원 캠퍼스 환경에너지기계공학전공 교수는 “삼성전자에서 기증받았다”며 “산...(계속)
글 : 대전=김진호 기자 과학동아 2019년 12호